หุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์
เคลือบด้วยฟลูออโรโพลิเมอร์ความสะอาดสูงเพื่อป้องกันการปนเปื้อนของไอออนโลหะในระหว่างการถ่ายโอนเวเฟอร์ สามารถเคลือบบนวัสดุเซรามิกได้ด้วย มีตัวเลือกต้านไฟฟ้าสถิตเพื่อตอบสนองความต้องการป้องกันไฟฟ้าสถิต

เครื่องขัดผิวความแม่นยำสูงสองด้าน
ใช้กับวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ ทรานซิสเตอร์ และอุปกรณ์ออปติคัลความแม่นยำ เคลือบ PFA ความบริสุทธิ์สูงบนชิ้นส่วนสำคัญเพื่อป้องกันการกัดกร่อนและลดการปนเปื้อนของโลหะ มีความทนทานสูงต่อกรด ด่าง และสารละลายอินทรีย์เครื่องขัดละเอียดสองหน้า

เครื่องยกควอตซ์
ปกป้องวัสดุควอตซ์และวัสดุคล้ายคลึงจากการสัมผัสสารเคมี รวมถึงกรดไฮโดรฟลูออริก เคลือบมีคุณสมบัติไฮโดรโฟบิกและโอเลโอโฟบิกยอดเยี่ยม ช่วยลดการปนเปื้อนจากของเหลวทำความสะอาด เหมาะสำหรับอุณหภูมิระหว่าง -180°C ถึง 260°C